美光科技正测试默克低GWP替代性蚀刻气体，以验证其制程性能

据台湾《经济日报》报道，默克公司今天宣布，将与美光科技合作，开发一种可降低全球变暖趋势的半导体技术气体解决方案。

默克表示，经过一年的持续合作，美光科技目前正在测试默克R&D部门提供的低GWP替代蚀刻气体，以验证其工艺性能，从而取代传统的高GWP材料，目标是将一种全新的，更可持续的气体解决方案引入半导体工艺两家公司都致力于探索有助于实现可持续发展目标的新材料，以取代目前在干法蚀刻和掩模清洗工艺中使用的各种具有高升温潜能的蚀刻气体

美光科技副总裁约翰·惠特曼表示，为了实现到2030年将42元全球运营产生的碳排放减少%的目标，美光科技投资了先进的减排系统，优先使用全球变暖潜力低的气体，外包节能设备，用化石可再生能源替代能源。